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伸缩电极反应装置与PECVD设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110382652.6
  • IPC分类号:C23C16/507
  • 申请日期:
    2021-04-09
  • 申请人:
    深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
著录项信息
专利名称伸缩电极反应装置与PECVD设备
申请号CN202110382652.6申请日期2021-04-09
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-29公开/公告号CN113046729A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/507IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;0;7查看分类表>
申请人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请人地址
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司当前权利人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
发明人余仲;刘兵吉;李学文
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司代理人黄广龙
摘要
本发明公开了一种伸缩电极反应装置与PECVD设备,伸缩电极反应装置包括反应管组件、电极组件与驱动组件,反应管组件包括管体与端盖,端盖连接于管体的后端;电极组件包括电极杆与电极头,电极杆连接于端盖,并能够相对端盖沿管体的轴向移动,电极头位于管体内,且与电极杆电连接;驱动组件包括动力件、第一弹性件与第一连接件,动力件连接于端盖,第一连接件连接于电极杆,第一弹性件连接于动力件的输出轴与第一连接件之间。上述伸缩电极反应装置中,当电极头与石墨舟发生接触后,随着动力件的进一步驱动,第一弹性件将发生弹性变形,使得电极头与石墨舟之间能够保持紧密的接触,保证接触的可靠性。

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