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具备气化器的气体供给装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980111910.4
  • IPC分类号:H01L21/31;B01J4/00;H01L21/205
  • 申请日期:
    2009-02-17
  • 申请人:
    株式会社富士金
著录项信息
专利名称具备气化器的气体供给装置
申请号CN200980111910.4申请日期2009-02-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-03-02公开/公告号CN101983418A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/31
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1;;;B;0;1;J;4;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;2;0;5查看分类表>
申请人株式会社富士金申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社富士金当前权利人株式会社富士金
发明人长田厚;永濑正明;日高敦志;平田薰;松本笃咨;西野功二;土肥亮介;池田信一
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人张雨;杨楷
摘要
本发明提供具备气化器的气体供给装置,该气体供给装置由下列部件构成:液体收纳罐;使液体气化的气化器;对气化气体的流量进行调节的高温型压力式流量控制装置;以及加热装置,该加热装置对气化器、高温型压力式流量控制装置以及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的配管路径的期望部分进行加热,由此实现节能和小型化,并且不需要严格的气化器侧的温度控制,就能够稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。

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