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硅(100)衬底各向异性腐蚀中直角结构补偿图形生成方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910030067.9
  • IPC分类号:H01L21/306;B81C1/00
  • 申请日期:
    2009-03-30
  • 申请人:
    东南大学
著录项信息
专利名称硅(100)衬底各向异性腐蚀中直角结构补偿图形生成方法
申请号CN200910030067.9申请日期2009-03-30
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-08-19公开/公告号CN101510509
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/306
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人东南大学申请人地址
江苏省南京市四牌楼2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东南大学当前权利人东南大学
发明人李伟华;张涵
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人叶连生
摘要
硅(100)衬底各向异性腐蚀中直角结构补偿图形生成方法,提供了一种补偿图形的拓扑结构,由此拓扑结构可以产生出多种多样的直角形式凸角补偿图形,对于硅(100)衬底上制作的含有直角形式凸角,且该直角由两条<110>晶向为直边构成的目标器件结构,其直角补偿图形生成的过程由两个步骤实现:首先建立直角补偿图形的拓扑结构,然后根据直角补偿图形生成方法产生具体的直角补偿图形。硅的各向异性腐蚀技术是指在硅的腐蚀过程中,硅的不同晶面具有不同的腐蚀速率,采用硅各向异性腐蚀技术能够制造许多种微机电系统(MEMS)结构。本发明具有理论原理清晰,具体补偿生成方便、灵活的优点。同时,因为本发明所提供的技术方法具有明确的技术路径,非常适合应用到计算机辅助设计系统中。

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