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一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置

实用新型有效专利
  • 申请号:
    CN202022847758.2
  • IPC分类号:C23C16/455C23C16/40
  • 申请日期:
    2020-12-01
  • 申请人:
    张银冰
著录项信息
专利名称一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置
申请号CN202022847758.2申请日期2020-12-01
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C23C16/455;C23C16/40查看分类表>
申请人张银冰申请人地址
湖北省武汉市武昌区友谊大道湖*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人张银冰当前权利人张银冰
发明人张银冰
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积反应器喷淋装置,包括蒸汽室和喷淋反应室,所述喷淋反应室内部设置有沉淀板,所述喷淋反应室设置于所述蒸汽室上方,且通过单向透气结构连通,该单向透气结构的透气方向为自蒸汽室向喷淋反应室,所述喷淋反应室内部设置有喷淋结构,所述蒸汽室一侧设置有蒸汽管。有益效果在于:通过在喷淋反应室内侧底部设置扰流结构,可通过向喷淋反应室内部送入氮气,减少反应气体下沉,提高反应气体结合的效率,减少原材料浪费;设置扰流结构后,在向喷淋反应室内部送入氮气的过程中,可使蒸汽的分布更加均匀,从而提高喷淋反应室内部温度的一致性,进而提高沉淀反应的均匀性和稳定性。

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