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晶体管型铁电存储器及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610161862.8
  • IPC分类号:H01L29/78;H01L27/115;H01L21/336;H01L21/8247
  • 申请日期:
    2006-12-05
  • 申请人:
    精工爱普生株式会社
著录项信息
专利名称晶体管型铁电存储器及其制造方法
申请号CN200610161862.8申请日期2006-12-05
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2007-06-13公开/公告号CN1979898
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;7查看分类表>
申请人精工爱普生株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人精工爱普生株式会社当前权利人精工爱普生株式会社
发明人木岛健;小西晃雄
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人余刚
摘要
本发明提供一种具有新型结构的晶体管型铁电存储器。晶体管型铁电存储器(100)包括:基板(10);在上述基板(10)的上方形成的栅电极(20);在上述基板(10)的上方形成的覆盖上述栅电极(20)的铁电层(30);在上述铁电层(30)的上方形成的源电极(40);在上述铁电层(30)的上方形成的位于和上述源电极(40)分离位置的漏电极(42);以及在上述铁电层(30)的上方形成的位于上述源电极(40)和上述漏电极(42)之间位置的沟道层(50)。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供