一种基板式碳纳米管制备设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202010530860.1
IPC分类号：C01B32/16
申请日期：
2020-06-11
申请人：
合肥百思新材料研究院有限公司

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专利名称	一种基板式碳纳米管制备设备
申请号	CN202010530860.1	申请日期	2020-06-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-15	公开/公告号	CN111661837A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B32/16 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B31/36 （转入C01B 32/956-C01B 32/991） C01B32/15 纳米级碳材料〔2017.01〕 C01B32/158 碳纳米管〔2017.01〕 C01B32/16 制备〔2017.01〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;2;/;1;6查看分类表>
申请人	合肥百思新材料研究院有限公司	申请人地址	安徽省合肥市巢湖经济开发区和平大道与秀湖路交叉口西北角变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥百思新材料研究院有限公司	当前权利人	合肥百思新材料研究院有限公司
发明人	孔令杰;李晓丽
代理机构	合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙）	代理人	韩立峰

摘要

本发明公开了一种基板式碳纳米管制备设备，本发明所述基板式碳纳米管制备设备在腔体中，利用石英匀气管堵制造一个恒温热场，将倾斜式沉积基板置于加热炉温区中间，加热炉升温的同时通入大量惰性气体，利用进气预热炉将惰性气体加热与三温区加热炉同步，防止大量惰性气体洗气时低温容易破坏试验热场，加热炉温度达到实验温度时，利用通气导管通入碳源气体，石英匀气管堵底部均匀输出碳源气体，通过高温度下使含碳化合物裂解为碳原子，碳原子在过渡金属‑催化剂的作用下，均匀高效地附着在催化剂微粒表面上形成碳纳米管，且通过滑动设置三温区加热炉，能够使高纯度石英管中的反应区域快速的进入或者脱离加热区域，提升沉积质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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