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激光加工装置及激光加工方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110035579.1
  • IPC分类号:B23K26/16
  • 申请日期:
    2011-01-28
  • 申请人:
    三菱综合材料株式会社
著录项信息
专利名称激光加工装置及激光加工方法
申请号CN201110035579.1申请日期2011-01-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2011-09-21公开/公告号CN102189336A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/16IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;1;6查看分类表>
申请人三菱综合材料株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三菱综合材料株式会社当前权利人三菱综合材料株式会社
发明人高桥正训;日向野哲
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司代理人杨晶;王琦
摘要
本发明提供一种激光加工装置及激光加工方法,其不使用辅助气体或液体就可以抑制加工去除物对激光加工的影响,从而提高加工效率。一种向加工对象物(W)照射激光而进行加工的装置,具备有:第1激光照射机构(2),将第1激光(L1)聚光成加工对象物(W)可被加工的激光强度而向加工对象物(W)的加工面进行照射;以及第2激光照射机构(3),将第2激光(L2)聚光成加工对象物(W)不会被加工的激光强度,与第1激光(L1)同时向基于该第1激光(L1)的加工点的周围进行照射。

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