基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520894592.6
IPC分类号：G01N27/00;C01B31/04
申请日期：
2015-11-11
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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著录项信息

专利名称	基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器
申请号	CN201520894592.6	申请日期	2015-11-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0;;;C;0;1;B;3;1;/;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	上海市长宁区长宁路865号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	当前权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人	李铁;郭联峰;梁晨;王跃林
代理机构	上海光华专利事务所	代理人	余明伟

摘要

本实用新型提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器，包括：微加热器平台衬底及硫掺杂石墨烯；所述微加热器平台衬底上设有测试电极及加热器；所述硫掺杂石墨烯至少覆盖所述测试电极。本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器可采用圆片级衬底，实现圆片级制备，达到批量制造的水平，大大降低生产成本；本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器对氮氧化物气体分子具有较高的灵敏度和选择性，可有效降低水蒸气等其它气体对检测的影响，提高检测的精确度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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