一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构及保护方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610295187.1
IPC分类号：F16P7/00;B81B7/00
申请日期：
2016-05-06
申请人：
中北大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构及保护方法
申请号	CN201610295187.1	申请日期	2016-05-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-20	公开/公告号	CN105782697A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16P7/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16P 一般安全装置 F16P7/00 预防机器或器械损坏的紧急装置（F16P 1/00，F16P 3/00，F16P 5/00优先；指示装置见有关的类）	IPC分类号	F;1;6;P;7;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市尖草坪区学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	曹慧亮;吴景;郭戌瑞;仇彦男;张日欣;张增磊;薛日辉;杜嘉丽
代理机构	太原科卫专利事务所（普通合伙）	代理人	朱源;王勇

摘要

本发明涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构及保护方法。本发明解决了现有MEMS器件的过载保护方法容易影响MEMS器件的正常工作、容易导致MEMS器件发生结构损坏的问题。一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构，包括质量块、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、两个左锚块、两个右锚块；所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁、两个Ω字形后支撑梁；所述吸能梁部分包括两个左吸能梁、两个右吸能梁、四个断裂点。本发明适用于MEMS器件的过载保护。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供