一种三自由度精密定位平台

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200520040479.8
IPC分类号：F16M11/00;F16M11/20
申请日期：
2005-03-29
申请人：
上海微电子装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种三自由度精密定位平台
申请号	CN200520040479.8	申请日期	2005-03-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16M11/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16M 非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架 F16M11/00 用于器械或其上制品的作为支承的机台或支架（无头的入F16M 13/00；绘图板架或黑板架或类似架入A47B 97/04；展台入A47F 7/00；工作台入E04G 1/32；照明装置的支承，悬挂入F21V 21/00；为特殊的器械或产品而专门改进的见适当的小类）	IPC分类号	F;1;6;M;1;1;/;0;0;;;F;1;6;M;1;1;/;2;0查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备有限公司	当前权利人	上海微电子装备有限公司
发明人	朱岳彬
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	王敏杰

摘要

本实用新型涉及用于精密加工、集成半导体制造、生物医药加工、光学及图像对准领域的运动平台，特别是一种三自由度精密定位平台。下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台连接成一个整体；该运动平台和X向驱动凸轮Y向驱动凸轮完全紧密地接触藉由上述结构主要解决现有的产品需要通过三层运动的叠加才能实现，整个平台将占用较大的空间尺寸，同时运动的叠加很容易产生运动位置的累计误差的技术问题，实现纳米级高精度精确位置定位。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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