像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910363567.8
IPC分类号：G01B11/25
申请日期：
2019-04-30
申请人：
浙江大学

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专利名称	像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法
申请号	CN201910363567.8	申请日期	2019-04-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-09-13	公开/公告号	CN110230994A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/25 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 G01B11/25 通过在物体上投影一个图形，例如莫尔（moiré）条纹（G01B 11/255优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;5查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	何再兴;赵昕玥;李沛隆
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林超

摘要

本发明公开了一种像点溯源的物体光栅图像相移法相位测量误差校正方法。在相移法形貌测量中，表面高度信息由相位信息进行表征。由于设备的非线性，经由相机捕获的图片所计算的相位信息中不可避免地存在误差。首先，通过投影仪投射特殊的光栅投影求解像点溯源映射关系。然后，逆着光路方向，对位于拍摄图片中的任一图片像素，根据像点溯源映射关系，确定将其点亮的位于投影仪成像平面中的点光源位置。最后，利用编码至点光源中的理想相位，替换图片像素中受干扰的相位信息，实现相位误差的校正，提高相移法形貌测量精度。与现有方法相比，本方法便于操作，且效率和精度较高。

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