一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920537661.6
IPC分类号：F27D19/00;F27D7/06
申请日期：
2019-04-19
申请人：
浙江晶盛机电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置
申请号	CN201920537661.6	申请日期	2019-04-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27D19/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27D 一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27D19/00 控制装置的配置	IPC分类号	F;2;7;D;1;9;/;0;0;;;F;2;7;D;7;/;0;6查看分类表>
申请人	浙江晶盛机电股份有限公司	申请人地址	浙江省绍兴市上虞区通江西路218号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江晶盛机电股份有限公司	当前权利人	浙江晶盛机电股份有限公司
发明人	胡建荣;高宇;倪军夫;董熔成;石明智;陈吉;傅林坚;曹建伟;李欢
代理机构	杭州中成专利事务所有限公司	代理人	周世骏

摘要

本实用新型涉及一种压力装置，尤其涉及一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置。包括碳化硅炉腔体，碳化硅炉腔体设有腔体进气口与腔体出气口；腔体出气口与主真空管路一端相连；主真空管路另一端与真空泵相连；主真空管路上设有真空阀与旁路支路；旁路支路为若干并联的控压支路，各个控压支路上均设有真空阀；控压支路直径小于主真空管路，且各个控压支路的直径各不相等。本实用新型由于该装置存在几路不同大小的管径，使得通气量具有可调性，因此可根据实际的使用经验改进管径大小及数量，因此配合真空泵变频使得腔体内部压力在惰性气体的充入和抽吸过程中容易达到平衡。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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