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一种高能带电粒子成像装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110586767.7
  • IPC分类号:G01N23/04
  • 申请日期:
    2021-05-27
  • 申请人:
    中国工程物理研究院应用电子学研究所
著录项信息
专利名称一种高能带电粒子成像装置
申请号CN202110586767.7申请日期2021-05-27
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-31公开/公告号CN113325012A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N23/04IPC分类号G;0;1;N;2;3;/;0;4查看分类表>
申请人中国工程物理研究院应用电子学研究所申请人地址
四川省绵阳市游仙区绵山路64号919-1015信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国工程物理研究院应用电子学研究所当前权利人中国工程物理研究院应用电子学研究所
发明人周征;王建新;肖德鑫;王汉斌;劳成龙;陈立均;张鹏;李鹏;周奎;吴岱
代理机构北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)代理人于晶晶
摘要
本发明涉及一种高能带电粒子成像装置,属于带电粒子成像技术领域,依次包括共光轴设置的粒子源、束流匹配传输段、等离子体成像透镜组和探测系统,本发明采用粒子源、束流匹配传输段、等离子体成像透镜组和探测系统组成高能带电粒子成像系统,结构简单且紧凑,提升了高能带电粒子的适用性,丰富了高能带电粒子的应用场景,同时,利用等离子体成像透镜的高梯度优势,降低高阶成像误差,提升高能带电粒子成像装置的空间分辨能力,调节便捷。

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