多功能晶圆剪切力测试机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920969650.5
IPC分类号：G01N3/02;G01N3/06;G01N3/08;G01N3/24
申请日期：
2019-06-26
申请人：
成都汉芯国科集成技术有限公司

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著录项信息

专利名称	多功能晶圆剪切力测试机
申请号	CN201920969650.5	申请日期	2019-06-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N3/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N3/00 用机械应力测试固体材料的强度特性 G01N3/02 零部件	IPC分类号	G;0;1;N;3;/;0;2;;;G;0;1;N;3;/;0;6;;;G;0;1;N;3;/;0;8;;;G;0;1;N;3;/;2;4查看分类表>
申请人	成都汉芯国科集成技术有限公司	申请人地址	四川省成都市高新区(西区)合作路89号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都汉芯国科集成技术有限公司	当前权利人	成都汉芯国科集成技术有限公司
发明人	蒋次为
代理机构	成都弘毅天承知识产权代理有限公司	代理人	梁伟东

摘要

本实用新型公开了多功能晶圆剪切力测试机，涉及微电子测试装置领域。包括底座、支持座，以及设置于底座和支持座之间的支撑桩，还包括测试臂、观察仪、位移平台、显示屏、射灯，以及设置于测试机内部的数据处理模块；所述底座上设置有支撑杆，所述支撑杆上套设滑动环，滑动环上水平设置支持板，所述支持板的一端设置观察仪，另一端设置显示屏，所述显示屏通过旋转机构与支持板连接；所述底座上还设置有位移平台，位移平台上设置有位移机构，所述位移机构的底端设有滑动脚，滑动脚与位移平台之间滑动卡箍连接，所述位移机构的顶端还包括放置平台；所述支撑桩内设有液压升降机构，支撑桩侧壁上设置有通过金属软管固定连接的射灯。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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