一种硅片背伤处理装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921715289.X
IPC分类号：--
申请日期：
2019-10-14
申请人：
天津环博科技有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种硅片背伤处理装置
申请号	CN201921715289.X	申请日期	2019-10-14
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	天津环博科技有限责任公司	申请人地址	天津市滨海新区华苑产业区华科大街1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津环博科技有限责任公司	当前权利人	天津环博科技有限责任公司
发明人	靳立辉;任志高;王国瑞;耿名强;王思雨;李博;王敏
代理机构	天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	栾志超

摘要

本实用新型涉及一种硅片背伤处理装置，包括喷砂腔体、往复运动机构、输送皮带线和砂浆液体回路，喷砂腔体为封闭的腔室，往复运动机构设置在喷砂腔体上部，输送皮带线设置在喷砂腔体下方；砂浆液体回路包括砂浆槽，供给泵和砂浆喷头，砂浆槽与砂浆喷头通过供给泵连接，砂浆槽设置在输送皮带线下方，砂浆喷头设置在往复运动机构末端。本实用新型的有益效果是：通过本装置能够实现自动背伤处理，并保证背伤处理效果相同，保持硅片的一致性；另外砂浆自循环，避免浪费砂浆并保持操作环境的干净整洁。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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