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高密度难熔金属和合金溅射靶

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880002255.4
  • IPC分类号:B22F3/10;B22F3/04
  • 申请日期:
    2008-01-15
  • 申请人:
    H.C.施塔克公司
著录项信息
专利名称高密度难熔金属和合金溅射靶
申请号CN200880002255.4申请日期2008-01-15
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2009-12-02公开/公告号CN101594955
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B22F3/10IPC分类号B;2;2;F;3;/;1;0;;;B;2;2;F;3;/;0;4查看分类表>
申请人H.C.施塔克公司申请人地址
美国马萨诸塞州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人H.C.施塔克公司当前权利人H.C.施塔克公司
发明人P·库马;C·B·伍德;G·罗扎克;S·A·米勒;G·泽曼;R·-C·R·吴
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人韦东;王颖
摘要
本发明涉及通过压制/烧结处理生产高密度难熔金属产品的方法。本发明还涉及生产溅射靶的方法以及由此生产的溅射靶。

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