一种电子束加工设备的磁聚焦装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920361742.5
IPC分类号：H01J37/14;H01J37/06
申请日期：
2019-03-15
申请人：
桂林电子科技大学

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著录项信息

专利名称	一种电子束加工设备的磁聚焦装置
申请号	CN201920361742.5	申请日期	2019-03-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/14 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/10 透镜 H01J37/14 磁的	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;4;;;H;0;1;J;3;7;/;0;6查看分类表>
申请人	桂林电子科技大学	申请人地址	广西壮族自治区桂林市金鸡路1号桂林电子科技大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	桂林电子科技大学	当前权利人	桂林电子科技大学
发明人	白雁力;姚荣彬;高海英;王旬;刘达见
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有真空室，所述真空室的顶部固定连接有封板，所述封板底部的中心处固定连接有电子枪，所述真空室内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽，所述真空室内腔的两侧均开设有定位槽，所述定位槽的内腔设置有伸缩柱。本实用新型通过设置底板、真空室、封板、电子枪、螺槽、定位槽、伸缩柱、定位装置、固定装置和磁聚焦装置主体的相互配合，达到了便于拆卸维修的优点，解决了现有的磁聚焦装置不便于拆卸维修的问题，当人们需要拆卸磁聚焦装置时，省时省力，减少了人们的劳动力，提高了人们的工作效率，从而提高了磁聚焦装置的实用性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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