薄膜压电体元件和其制造方法以及使用该元件的致动器装置

发明专利无效专利

申请号：
CN02146999.7
IPC分类号：G11B21/21
申请日期：
2002-09-30
申请人：
松下电器产业株式会社

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著录项信息

专利名称	薄膜压电体元件和其制造方法以及使用该元件的致动器装置
申请号	CN02146999.7	申请日期	2002-09-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-05-28	公开/公告号	CN1420497
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G11B21/21 ? IPC结构图谱： G 物理 G9 G部其他 G11 信息存储 G11B 基于记录载体和换能器之间的相对运动而实现的信息存储（以不需要通过换能器重现记录值的方式记录测量值的入G01D 9/00；利用有机械标记的带子，例如，穿孔纸带或利用单元记录卡，如穿孔卡片或具有磁性标记的卡片的记录或重现设备入G06K；将数据从记录载体的一种类型转移到另一种类型上的入G06K 1/18；将重放装置的输出耦合到无线电接收机上去的电路入H04B 1/20；唱机拾音器之类的声音机电传感器或为此所用的电路入H04R） G11B21/00 并非专指记录或重现方法的换能头装置 G11B21/16 支承换能头；插入式换能头插座的支承 G11B21/20 在换能头处于工作位置时，为了跟随记录载体表面的不规则性而作平稳移动或容许的较小移动的 G11B21/21 考虑到换能头与记录载体保持所要求的间隔，例如，流体动力的间隔、滑动器〔4〕	IPC分类号	G;1;1;B;2;1;/;2;1查看分类表>
申请人	松下电器产业株式会社	申请人地址	日本国大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下电器产业株式会社	当前权利人	松下电器产业株式会社
发明人	内山博一
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	沈昭坤

摘要

通过在元件形成衬底(7)的一侧面上形成多个薄膜压电体元件(8)，在包含这些薄膜压电体元件(8)的元件形成衬底(7)的一侧面上覆盖由树脂构成的元件保持膜(20)后，通过去除形成薄膜压电体元件(8)的区域的元件形成衬底(7)，由元件保持膜(20)保持薄膜压电体元件(8)，并单个或以规定单位分离元件保持膜(25)保持的薄膜压电体元件(8)的方法，仅通过元件保持膜和设置在周围的框结构来将薄膜加工形成的薄膜压电体元件保持在衬底上，改善包含到安装工序的批量生产性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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