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一种平板显示溅射靶材

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201822060625.3
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2018-12-08
申请人：
东曹（上海）电子材料有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种平板显示溅射靶材
申请号	CN201822060625.3	申请日期	2018-12-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	东曹（上海）电子材料有限公司	申请人地址	上海市松江区松江出口加工区茸腾路255号4幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东曹（上海）电子材料有限公司	当前权利人	东曹（上海）电子材料有限公司
发明人	卢建栋;张小伟;张扬
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种平板显示溅射靶材，涉及溅射靶材领域，包括背板和靶材，背板和靶材之间填充有焊料层，焊料层内嵌设有用于固定背板和靶材之间距离的定位件，定位件同时与背板和靶材抵接。针对现有技术存在靶材与背板难以确保平行的问题，本实用新型在背板和靶材之间设置定位件，使背板和靶材之间的距离保持为定位件的厚度，从而确保背板和靶材平行，有效提高产品的加工精度。

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