气体混合装置及半导体加工设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201911317364.1
IPC分类号：B01F3/02;B01F5/06;B01J19/00
申请日期：
2019-12-19
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	气体混合装置及半导体加工设备
申请号	CN201911317364.1	申请日期	2019-12-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-03-27	公开/公告号	CN110917914A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01F 混合，例如，溶解、乳化、分散（混合颜料入B44D 3/06） B01F3/00 混合，例如，按被混合的相来分散，乳化 B01F3/02 气体与气体或蒸气	IPC分类号	B;0;1;F;3;/;0;2;;;B;0;1;F;5;/;0;6;;;B;0;1;J;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	张少雷;郑波;马振国;徐刚
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供一种气体混合装置及半导体加工设备，气体混合装置包括引流组件、混合腔和出气组件，其中，引流组件与用于提供多种工艺气体的多个工艺气体管路连接，用于将每种工艺气体均分流为多股气流；且引流组件还与混合腔连通，用于将分流形成的多种工艺气体的每股气流均输送至混合腔中；出气组件分别与混合腔和反应腔室的进气组件连接，用于将多种工艺气体在混合腔中混合后的气体输送至反应腔室中。本发明提供的气体混合装置及半导体加工设备，能够提高多种工艺气体在进入反应腔室前的预混合效果，从而提高半导体加工工艺的工艺效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供