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超声波洗涤方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880004042.5
  • IPC分类号:B08B3/12;H01L21/304;G02F1/13;G02F1/1333
  • 申请日期:
    2008-02-04
  • 申请人:
    株式会社日立工业设备技术;国立大学法人东京大学
著录项信息
专利名称超声波洗涤方法
申请号CN200880004042.5申请日期2008-02-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-12-16公开/公告号CN101605615
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/12IPC分类号B;0;8;B;3;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;3查看分类表>
申请人株式会社日立工业设备技术;国立大学法人东京大学申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人国立大学法人东京大学,株式会社日立制作所当前权利人国立大学法人东京大学,株式会社日立制作所
发明人正木广志;妻木伸夫;佐原辉隆;北田由光;松本洋一郎;吉泽晋
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人李贵亮
摘要
采用本发明方案之一的超声波洗涤方法时,在对存在溶存气体的洗涤液照射超声波后洗涤被洗涤物的情况下,按规定周期反复进行连续照射超声波至少0.2msec以上的工序;和停止照射超声波至少0.1msec以上的工序。由此,能防止阻碍超声波透过的粗大气泡的产生,高效产生有助于洗涤的自由基,能高效地洗涤被洗涤物。

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