一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备

发明专利无效专利

申请号：
CN200910255704.2
IPC分类号：G01N27/00;H01L51/05
申请日期：
2009-12-18
申请人：
烟台海岸带可持续发展研究所

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著录项信息

专利名称	一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备
申请号	CN200910255704.2	申请日期	2009-12-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-06-22	公开/公告号	CN102103102A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R）	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;0;;;H;0;1;L;5;1;/;0;5查看分类表>
申请人	烟台海岸带可持续发展研究所	申请人地址	山东省烟台市莱山区春晖路17号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	烟台海岸带可持续发展研究所	当前权利人	烟台海岸带可持续发展研究所
发明人	于顺洋;许玉云;李琳娜
代理机构	沈阳科苑专利商标代理有限公司	代理人	许宗富;周秀梅

摘要

本发明涉及一种气体传感器，特别是一种用于检测二氧化氮气体的气体传感器及其制备。栅绝缘层上设表面修饰层和功能层；源电极和漏电极分别连接于功能层，功能层以n型有机半导体材料氟取代酞菁金属化合物为原料。本发明利用有机半导体材料取代无机半导体材料作为器件的功能层，在灵敏度和响应速度主要性能均达到目前市场上无机产品的同时，该二氧化氮气体传感器在制作工艺上也大为简化，只需将修饰好的基片采用一次性真空蒸镀的方法制备器件的功能层和源漏电极即完成了整个器件的制作，制备条件温和，制作周期缩短。

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