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静电夹盘外围的插入环的介电常数的调整方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410612314.7
  • IPC分类号:H01L21/687
  • 申请日期:
    2014-11-03
  • 申请人:
    中微半导体设备(上海)有限公司
著录项信息
专利名称静电夹盘外围的插入环的介电常数的调整方法
申请号CN201410612314.7申请日期2014-11-03
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-06-01公开/公告号CN105632993A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人中微半导体设备(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中微半导体设备(上海)股份有限公司当前权利人中微半导体设备(上海)股份有限公司
发明人叶如彬;浦远;倪图强
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王宝筠
摘要
本发明提供了一种静电夹盘外围的插入环的介电常数的调整方法,所述插入环为能够通入和排出流体的中空腔体结构,所述调整方法包括:步骤A、获取插入环的预定介电常数;所述预定介电常数由反应腔体内待加工晶圆上方的等离子体密度及其分布确定;步骤B、根据所述插入环的预定介电常数,选取与所述预定介电常数相对应的流体介电质;步骤C、向所述中空腔体内通入选取的流体介电质。通过本发明提供的调整方法,可以实现插入环介电常数的大幅度且精确调整。

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