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FET型传感器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN02822539.2
  • IPC分类号:G01N27/414
  • 申请日期:
    2002-11-11
  • 申请人:
    株式会社Bio-X;泽田和明
著录项信息
专利名称FET型传感器
申请号CN02822539.2申请日期2002-11-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2005-02-23公开/公告号CN1585896
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/414IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;4;1;4查看分类表>
申请人株式会社Bio-X;泽田和明申请人地址
日本国京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社Bio-X,泽田和明当前权利人株式会社Bio-X,泽田和明
发明人泽田和明;内山正克
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人张立岩
摘要
本发明的FET型传感器包括:在半导体基板(1)的表面,形成与基板反极性的扩散区域组成的输入二极管部(2)、固定在输入二极管部与浮游扩散部之间的绝缘膜(5)上的输入栅极(6)和输出栅极(7)、固定在其输入/输出栅极间的绝缘膜上的离子感应膜所组成的传感部(9)、固定在连接浮游扩散部另一侧位置的绝缘膜上的复位栅极(8)、形成在复位栅极的浮游扩散部另一侧的、由与基板反极性扩散区域组成的复位二极管部(4);此FET型传感器检测:根据对应于作用在传感部的离子浓度而相应变化的势井深度和汲出次数的、浮游扩散部所积累的电荷量;利用此FET型传感器来进行离子浓度和碱基序列的检测。

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