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一种双频激光干涉仪的光纤准直器

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920213642.4
  • IPC分类号:G02B27/30;G02B7/02;G01B9/02;G01B11/02
  • 申请日期:
    2009-11-17
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种双频激光干涉仪的光纤准直器
申请号CN200920213642.4申请日期2009-11-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B27/30IPC分类号G;0;2;B;2;7;/;3;0;;;G;0;2;B;7;/;0;2;;;G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人任胜伟;肖鹏飞;张晓文;高为宫;池峰
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人王洁
摘要
一种双频激光干涉仪的光纤准直器,与光纤相连,包括固定座(11),其特征在于该双频激光干涉仪的光纤准直器还包括定位销(12)、透镜(13)、偏振片(14)和FC/PC型光纤适配器(15)。所述双频激光通过所述透镜(13)后被所述偏振片(14)混合并产生调制光信号,最后进入与所述FC/PC型光纤适配器(15)相连的光纤中。本实用新型提供的一种双频激光干涉仪的光纤准直器,通用性强,结构紧凑,在满足超精密激光干涉测量要求的同时,可以实现低成本批量生产。

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