紫外激光加工光学传导装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201010118079.X
IPC分类号：B23K26/42;G02B7/04
申请日期：
2010-03-05
申请人：
中国电子科技集团公司第四十五研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	紫外激光加工光学传导装置
申请号	CN201010118079.X	申请日期	2010-03-05
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2010-09-29	公开/公告号	CN101844276A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/42	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;4;2;;;G;0;2;B;7;/;0;4查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第四十五研究所	申请人地址	河北省三河市燕郊开发区海油大街20号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第四十五研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第四十五研究所
发明人	刘红英;赵志伟;张孝其
代理机构	石家庄新世纪专利商标事务所有限公司	代理人	张贰群

摘要

本发明提供了一种紫外激光加工光学传导装置，涉及半导体、微电子等器件激光加工设备技术领域。本发明将激光传输机构与图形识别对准机构集成于一体，并设有激光聚焦位置Z向微调机构。采用此装置可以提高激光与图形传输同轴度、激光焦点Z向位置准确度，激光与图形聚焦位置准确度，并可使紫外激光加工过程实现实时监视，其操作简便、准确度高。尤其适用于发光二极管晶片、半导体晶圆、太阳能硅片等材料的激光加工。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供