光学位置检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201822088095.3
IPC分类号：G01B11/00;G01B9/00
申请日期：
2018-12-13
申请人：
苏州亿拓光电科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光学位置检测装置
申请号	CN201822088095.3	申请日期	2018-12-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;9;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州亿拓光电科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区苏州大道东381号商旅大厦6幢903室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州亿拓光电科技有限公司	当前权利人	苏州亿拓光电科技有限公司
发明人	胡进;陈铭勇
代理机构	苏州谨和知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	仲崇明

摘要

本申请公开了一种光学位置检测装置，该装置包括：检测光源以及沿检测光源的成像光路依次设置的光阑、投影镜组、成像放大镜组和探测器，其中，检测光源为点光源或线光源；投影镜组，将来自光阑的光束以一定倾角入射在工件的待测表面；成像放大镜组，可将待测表面的反射光束进行2级放大成像后入射至探测器。本实用新型的检测装置，采用独立的成像光路，边缘轮廓更清晰，检测精度更高，同时可采用不同角度的斜入射方式，可以避开其它光路占据的空间位置，而且装置简单可靠，成本低廉，可以将工件表面的位置变化放大30～160倍，可以实现亚微米级的位置检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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