AMHS暂存区系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201310552162.1
IPC分类号：B65G49/07;B65G47/04
申请日期：
2013-11-08
申请人：
上海集成电路研发中心有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	AMHS暂存区系统
申请号	CN201310552162.1	申请日期	2013-11-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-26	公开/公告号	CN103600992A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G49/07 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G49/00 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 B65G49/05 用于易碎或易损的物料或物件〔4〕 B65G49/07 用于半导体晶片的〔5，8〕	IPC分类号	B;6;5;G;4;9;/;0;7;;;B;6;5;G;4;7;/;0;4查看分类表>
申请人	上海集成电路研发中心有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高斯路497号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海集成电路研发中心有限公司	当前权利人	上海集成电路研发中心有限公司
发明人	计军
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	吴世华;林彦之

摘要

本发明公开了一种AMHS暂存区系统，其包括至少一个暂存设备，每个暂存设备内具有至少两个供放置硅片盒的暂存组件以及至少一个可容纳暂存组件的预留空间，暂存组件包括供承载硅片盒的承载架，暂存设备内还设有可使暂存组件位移至预留空间的位移装置，位移装置分别与暂存设备的框架以及承载架相连。本发明采用类似于“立体车库”的技术方案，通过暂存设备内部暂存组件的位移，可以自动移动至离输送车最近的位置，节省输送车在暂存区存取硅片盒的时间，从而提高了AMHS系统整体的效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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