晶圆夹持旋转机械手

发明专利有效专利

申请号：
CN202110388523.8
IPC分类号：B25J11/00
申请日期：
2021-04-12
申请人：
上海广川科技有限公司

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著录项信息

专利名称	晶圆夹持旋转机械手
申请号	CN202110388523.8	申请日期	2021-04-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-13	公开/公告号	CN113103252A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J11/00 不包含在其他组的机械手	IPC分类号	B;2;5;J;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	上海广川科技有限公司	申请人地址	上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海广川科技有限公司	当前权利人	上海广川科技有限公司
发明人	刘洋;古市昌稔;曲泉铀
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	陶金龙;吴世华

摘要

本发明提供一种晶圆夹持旋转机械手，包括晶圆末端执行器、夹持组件、第一同步带组件及第二同步带组件，晶圆支撑于晶圆末端执行器上，夹持板间距设于所述晶圆末端执行器上，且沿所述晶圆的圆周方向活动设置，所述第一同步带组件驱动第一传动轴带动第一轴承、导杆及夹持板绕所述第一轴承的轴向旋转运动，并同步驱动晶圆末端执行器绕所述第一轴承的轴向同向旋转；所述第二同步带组件传动连接第二轴承，驱动所述第二轴承带动所述导杆沿所述第一轴承的轴向往返运动，并传动所述夹持板沿所述晶圆的圆心伸缩运动。通过分设第一同步带组件和第二同步带组件实现了晶圆的翻转和夹持，实现了多工位的应用。

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