石英坩埚自动清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201220118458.3
IPC分类号：C03C23/00
申请日期：
2012-03-26
申请人：
杭州先进石英材料有限公司

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著录项信息

专利名称	石英坩埚自动清洗装置
申请号	CN201220118458.3	申请日期	2012-03-26
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C23/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C23/00 纤维或丝之外玻璃的其他表面处理	IPC分类号	C;0;3;C;2;3;/;0;0查看分类表>
申请人	杭州先进石英材料有限公司	申请人地址	宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司	当前权利人	宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
发明人	涂永文
代理机构	杭州天正专利事务所有限公司	代理人	王兵;黄美娟

摘要

石英坩埚自动清洗装置，包括旋转台、冲淋装置，所述的旋转台通过电机驱动旋转，所述的冲淋装置设置外喷嘴、内喷嘴，所述的外喷嘴、内喷嘴通过气缸或电机驱动进行往复运动；所述的外喷嘴和所述的内喷嘴设置增压泵。本实用新型的有益效果是：1)由传统的人工清洗改为自动清洗，对坩埚内外表面进行全方位、不留死角冲淋洗净，提高清洗效率和质量；2)每只坩埚均能保证在一致的冲淋压力、坩埚旋转速度、冲淋时间和冲淋喷嘴的条件下完成。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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