一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022647591.5
IPC分类号：G01N21/45
申请日期：
2020-11-16
申请人：
中国计量大学

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著录项信息

专利名称	一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器
申请号	CN202022647591.5	申请日期	2020-11-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/45 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/41 折射率；影响相位的性质，例如光程长度（G01N 21/21优先）〔3〕 G01N21/45 利用干涉量度法，利用纹影方法〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;4;5查看分类表>
申请人	中国计量大学	申请人地址	浙江省杭州市下沙高教区学源街258号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国计量大学	当前权利人	中国计量大学
发明人	郭允;陈敏;徐贲
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种基于微悬臂梁结构的F‑P型光纤湿度传感器。其特征在于：该传感器由单模光纤、毛细管、金膜和琼脂糖凝胶薄膜组成。使用飞秒激光将毛细管端面涂覆的金膜穿透，形成一个开口腔的刚性矩形的微悬臂梁结构，其悬臂梁的长度为95um～110μm，宽度为25μm～35μm，厚度为0.1μm～0.15μm。在微悬臂梁结构上涂覆一层厚度为0.5μm～1.5μm的琼脂糖凝胶薄膜。应用时，将传感器置于待测湿度环境内，环境湿度发生变化，琼脂糖凝胶薄膜的质量和厚度发生变化，进而使得微悬臂梁结构的本征频率发生变化，通过实时检测微悬臂梁本征频率的变化即可解调出环境湿度的大小。本发明具有灵敏度高、测量精度高和结构紧凑的特点，可用于环境湿度的准确测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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