一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202211284830.2
IPC分类号：C23C14/50;G02B1/10
申请日期：
2022-10-20
申请人：
苏州京浜光电科技股份有限公司

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专利名称	一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备
申请号	CN202211284830.2	申请日期	2022-10-20
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-22	公开/公告号	CN115369371A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;G;0;2;B;1;/;1;0查看分类表>
申请人	苏州京浜光电科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州京浜光电科技股份有限公司	当前权利人	苏州京浜光电科技股份有限公司
发明人	增田清志;龚裕;增田博志
代理机构	苏州市小巨人知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	梁超

摘要

本发明涉及真空镀膜附属装置的技术领域，特别是涉及一种精密表面镀膜均匀的真空镀膜设备，包括镀膜箱、环形板和圆板，镀膜箱内部设置有镀膜腔室，镀膜箱顶端开口，环形板转动安装在镀膜箱内，环形板上呈圆周状均匀滑动设置有四个夹持块，四个夹持块的侧壁上均倾斜设置有导向槽，圆板纵向滑动安装在镀膜腔室内，圆板上呈圆周状均匀设置有四个凹槽，四个凹槽内均设置有导向柱，导向柱滑动安装在导向槽内。本发明中在圆形光学镜片进入至镀膜腔室的过程中，自动对圆形光学镜片进行夹持，省时省力，工作效率高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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