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用于异构集成技术的晶圆级封装的方法和装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210465855.2
  • IPC分类号:H01L25/065;H01L23/31;H01L21/98
  • 申请日期:
    2012-11-16
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称用于异构集成技术的晶圆级封装的方法和装置
申请号CN201210465855.2申请日期2012-11-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-01-15公开/公告号CN103515363A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L25/065IPC分类号H;0;1;L;2;5;/;0;6;5;;;H;0;1;L;2;3;/;3;1;;;H;0;1;L;2;1;/;9;8查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人余振华;叶德强
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司代理人章社杲;孙征
摘要
本发明公开了形成WLP器件的方法和装置,该WLP器件包括通过封装第一芯片和第二芯片的模制材料被封装在一起的由第一技术制成的第一芯片和由不同于第一技术的第二技术制成的第二芯片。钝化后互连(PPI)线可以形成在模制材料上,钝化后互连(PPI)线通过第一连接件连接至第一芯片的第一接触焊盘,并且通过第二连接件连接至第二芯片的第二接触焊盘,其中,第一连接件和第二连接件可以是Cu球、Cu通孔、Cu柱或者其他种类的连接件。本发明还提供了用于异构集成技术的晶圆级封装的方法和装置。

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