用于防止在高对流电镀槽中起泡的横流导管

发明专利有效专利

申请号：
CN201980076026.5
IPC分类号：C25D5/08;C25D17/00;C25D17/02;C25D17/06;H01L21/288
申请日期：
2019-11-15
申请人：
朗姆研究公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于防止在高对流电镀槽中起泡的横流导管
申请号	CN201980076026.5	申请日期	2019-11-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-29	公开/公告号	CN113056575A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D5/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D5/00 以工艺方法为特征的电镀；工件的预处理或后处理〔2〕 C25D5/08 有流动电解液的电镀，例如喷射电镀〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;5;/;0;8;;;C;2;5;D;1;7;/;0;0;;;C;2;5;D;1;7;/;0;2;;;C;2;5;D;1;7;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;8查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	斯蒂芬·J·巴尼克二世;亚伦·贝尔克;加布里埃尔·海·格雷哈姆;格雷戈里·J·卡恩斯;蔡利鹏;布莱恩·L·巴卡柳
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	樊英如;张静

摘要

本文中的实施方案涉及将一或多种材料电镀至衬底上的装置和方法。本文中的实施方案在电镀槽中使用横流导管以将来自衬底与定位于衬底附近的具有通道的离子阻性板之间的区域的流体流转向向下至低于流体容纳单元中的流体水平的水平，流体容纳单元用于收集来自电镀系统的溢流流体而进行再循环。横流导管可包含被切割至电镀槽的组件中的通道以允许转向流、或可包含可安装至现行电镀槽的可附接转向设备以使液流向下转向至流体容纳单元。实施方案还包含流动限制器，其可以是用于在电镀期间调节横流导管中的流体流的板、或释压阀。

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