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用于连通激光器和真空环境的管道及其制造方法与应用

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711439152.1
  • IPC分类号:H01S3/03;H01S3/036
  • 申请日期:
    2017-12-27
  • 申请人:
    华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
著录项信息
专利名称用于连通激光器和真空环境的管道及其制造方法与应用
申请号CN201711439152.1申请日期2017-12-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-05-29公开/公告号CN108092123A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S3/03IPC分类号H;0;1;S;3;/;0;3;;;H;0;1;S;3;/;0;3;6查看分类表>
申请人华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)申请人地址
湖北省武汉市江夏区阳光大道717号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)当前权利人华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
发明人鲍浪;张红波;谭锐
代理机构武汉凌达知识产权事务所(特殊普通合伙)代理人刘念涛;宋国荣
摘要
本发明公开了一种用于连通激光器和真空环境的管道,包括不锈钢管道和第二无氧铜管,不锈钢管道和第二无氧铜管之间连接有第一无氧铜管、三通接头、陶瓷管路和直通接头,三通接头的侧端接头上连接有吸气剂供给装置;还公开了其制造方法及其应用;本发明的管道完成连接后,可以在‑40~135℃范围内任何温度漏率均优于5.0×10‑13Pa·m3/s,且该管道可以满足长时间烘烤除气的工艺需求;该管道可使用冷封钳将无氧铜管冷封,冷封过程中激光器内的气体不会与外界环境发生交换,确保激光器内工作气体的纯度不会发生变化;冷封后的激光器与吸气剂供给装置组成的器件可进行其它工艺,然后进行第二次冷封,去除吸气剂供给装置后,得到高精度激光器产品。

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