带有晶棒定位装置的硅单晶炉

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120377275.9
IPC分类号：C30B15/00
申请日期：
2011-10-09
申请人：
上海汉虹精密机械有限公司

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著录项信息

专利名称	带有晶棒定位装置的硅单晶炉
申请号	CN201120377275.9	申请日期	2011-10-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	上海汉虹精密机械有限公司	申请人地址	上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海汉虹精密机械有限公司	当前权利人	上海汉虹精密机械有限公司
发明人	杨永录;葛亮;贺贤汉
代理机构	上海德昭知识产权代理有限公司	代理人	缪利明

摘要

本实用新型带有晶棒定位装置的硅单晶炉，包括：上炉筒；减速器组件，所述减速器组件设置在所述上炉筒外侧，所述减速器组件与所述上炉筒连接；晶棒定位组件，所述减速器组件通过所述晶棒定位组件与所述上炉筒连接；直流减速电机，所述直流减速电机与所述减速器组件连接。本实用新型带有晶棒定位装置的硅单晶炉摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。

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