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一种悬挂式晶圆载具

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020541452.1
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2020-04-13
  • 申请人:
    艾华(无锡)半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种悬挂式晶圆载具
申请号CN202020541452.1申请日期2020-04-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人艾华(无锡)半导体科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人艾华(无锡)半导体科技有限公司当前权利人艾华(无锡)半导体科技有限公司
发明人宣荣卫;吕俊
代理机构连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人刘刚
摘要
本实用新型涉及半导体加工技术领域,且公开了一种悬挂式晶圆载具,包括载具本体,所述载具本体的外表面固定套接有防护壳,所述载具本体顶部的两侧均固定安装有竖杆,所述竖杆的顶端贯穿防护壳并延伸至防护壳的上方。该悬挂式晶圆载具,通过设置防护壳、竖杆和吊环,由于防护壳的设计,将会提高了对载具本体整体的防护效果,从而降低了外界碰撞对载具本体所产生的不利影响,同时由于竖杆和吊环之间的配合,使得载具本体整体便于悬挂,此时载具本体整体将会分别受到拉力和重力作用,而产生受力平衡,使其在长期使用的过程中不易发生弯曲变形,便于操作人员的使用,因此增加了该晶圆载具的实用性。

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