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硅料清洗剂及硅料清洗的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010602413.9
  • IPC分类号:C11D1/825;C11D3/20;C11D3/24;C11D1/83;C11D3/30;C11D3/04;C11D3/60;C11D7/26;B08B3/08;B08B3/12
  • 申请日期:
    2010-12-23
  • 申请人:
    西安隆基硅材料股份有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司
著录项信息
专利名称硅料清洗剂及硅料清洗的方法
申请号CN201010602413.9申请日期2010-12-23
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-04-13公开/公告号CN102010797A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C11D1/825IPC分类号C;1;1;D;1;/;8;2;5;;;C;1;1;D;3;/;2;0;;;C;1;1;D;3;/;2;4;;;C;1;1;D;1;/;8;3;;;C;1;1;D;3;/;3;0;;;C;1;1;D;3;/;0;4;;;C;1;1;D;3;/;6;0;;;C;1;1;D;7;/;2;6;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;1;2查看分类表>
申请人西安隆基硅材料股份有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司申请人地址
陕西省西安市长安区航天中路388号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人隆基绿能科技股份有限公司当前权利人隆基绿能科技股份有限公司
发明人张群社;赵可武;李淑丽;王彦利
代理机构西安弘理专利事务所代理人罗笛
摘要
本发明公开了清洗剂SEH-1、清洗剂SEH-2、清洗剂SEH-3的组方,所述的清洗剂SEH-1由以下组分按质量份组成脂肪醇聚氧乙烯醚为5-25;烷基酚聚氧乙烯醚为3-15;烷基醇酰胺为2-8;乙二醇烷基醚为0.5-7;螯合剂为0.1-5;含氯酸为5-10;H2O2为0.5-5;去离子水为余量,总份数为100;所述的清洗剂SEH-2由以下组分按质量份组成椰子油烷基酰胺磷酸酯为4-15;三乙醇胺油酸皂为3-15;三乙醇胺为1-5;氨基三乙酸为0.1-5;氢氧化钾为1-5;去离子水为余量,总份数为100;所述的清洗剂SEH-3由以下组分按质量份组成醋酸为5-10;柠檬酸为0.5-10;山梨醇为0.1-5;去离子水为余量,总份数为100。本发明还公开了利用上述三种清洗剂对硅料的清洗方法。本发明的方法完全符合制作太阳能级单晶硅的清洁要求,不污染环境。

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