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一种CVD镀膜装置的衬底

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021852820.0
  • IPC分类号:C23C16/458;C23C16/46
  • 申请日期:
    2020-08-31
  • 申请人:
    昆山福钻新材料科技有限公司
著录项信息
专利名称一种CVD镀膜装置的衬底
申请号CN202021852820.0申请日期2020-08-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8;;;C;2;3;C;1;6;/;4;6查看分类表>
申请人昆山福钻新材料科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市周庄镇崇远路333号A2幢2楼211室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人昆山福钻新材料科技有限公司当前权利人昆山福钻新材料科技有限公司
发明人因福明;沈杰
代理机构南京纵横知识产权代理有限公司代理人董成
摘要
本实用新型涉及CVD镀膜技术领域,且公开了一种CVD镀膜装置的衬底,包括衬底,所述衬底的前后两面均固定安装有凸起,所述衬底的外侧活动安装有第一夹板,所述第一夹板的一侧活动安装有第二夹板,所述第一夹板和第二夹板的顶部通过连接块固定连接,所述第一夹板和第二夹板的内部均固定安装有固定垫片,所述第二夹板的两端固定安装有支撑块。该CVD镀膜装置的衬底,通过在衬底的外侧包裹有第一夹板和第二夹板,且第一夹板和第二夹板通过连接块和支撑块粘粘连接,便于将第一夹板和第二夹板进行连接,且第一夹板和第二夹板的连接便于将衬底固定安装在第一夹板和第二夹板的内部,通过第一夹板和第二夹板对衬底进行保护,避免衬底受到磨损。

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