用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110642496.2
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02
申请日期：
2021-06-09
申请人：
浙江众凌科技有限公司

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著录项信息

专利名称	用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法
申请号	CN202110642496.2	申请日期	2021-06-09
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-17	公开/公告号	CN113265617A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;F;1;/;0;2查看分类表>
申请人	浙江众凌科技有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号1幢351室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江众凌科技有限公司	当前权利人	浙江众凌科技有限公司
发明人	张容韶;沈洵;胡清渊
代理机构	浙江永航联科专利代理有限公司	代理人	蔡鼎

摘要

本发明提供一种用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法，包括金属基材，金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置第一蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置第二蚀刻孔，中心相重合的第一蚀刻孔与第二蚀刻孔呈连通状态，第一蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第二蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角，交界夹角大于90°，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处为暴露孔的高精度孔径。本发明优化两侧蚀刻孔相交结构，尖点结构更平缓、更厚实，增加强度，提高精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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