一种连续式扩散炉及其通气方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310163068.7
IPC分类号：C30B31/10;C30B31/16
申请日期：
2013-05-06
申请人：
上海煦康电子科技有限公司

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专利名称	一种连续式扩散炉及其通气方法
申请号	CN201310163068.7	申请日期	2013-05-06
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-07-31	公开/公告号	CN103225111A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕 C30B31/06 同气态扩散材料接触的（C30B 31/18优先）〔3〕 C30B31/10 反应室；其所用材料的选择〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;1;0;;;C;3;0;B;3;1;/;1;6查看分类表>
申请人	上海煦康电子科技有限公司	申请人地址	上海市徐汇区田林路140号28幢511幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海煦康电子科技有限公司	当前权利人	上海煦康电子科技有限公司
发明人	陆利新;郑荣豪;陈荣莲
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郑玮

摘要

本发明提供一种连续式扩散炉，包括：两端开口的炉体；一端开口、另一端封闭的第一进气管，第一进气管固定设置在炉体的腔内壁，第一进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；一端开口、另一端封闭的第二进气管，第二进气管固定设置在炉体的腔内壁，第二进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；排气管，固定设置在炉体腔内壁，排气管两端均开口，并向排气管两端提供有负压，排气管的管壁上开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁。本发明提供的连续式扩散炉的通气方法，实现了同一批次的硅片周围反应气体密度一致，硅片结成的PN结较为均匀，同时使用两个通气管通气，避免了通气管孔堵塞。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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