一种用于显示面板和半导体领域的水基型光刻胶剥离液

发明专利有效专利

申请号：
CN201910061476.9
IPC分类号：G03F7/42
申请日期：
2019-01-23
申请人：
福建省佑达环保材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于显示面板和半导体领域的水基型光刻胶剥离液
申请号	CN201910061476.9	申请日期	2019-01-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-16	公开/公告号	CN109634071A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/42 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/42 剥离或剥离剂〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;4;2查看分类表>
申请人	福建省佑达环保材料有限公司	申请人地址	福建省泉州市泉港区前黄镇驿峰西路499号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福建省佑达环保材料有限公司	当前权利人	福建省佑达环保材料有限公司
发明人	刘小勇;颜如彩;田博
代理机构	福州元创专利商标代理有限公司	代理人	蔡学俊

摘要

本发明涉及一种用于显示面板和半导体领域的水基型光刻胶剥离液，包括25%‑40%的高沸点醇醚类水溶性有机溶剂，15%‑35%的酰胺类有机溶剂，5%‑15%的醇胺类化合物，2%‑8%的gemini型烷基糖苷类表面活性剂，0.1%‑5%缓蚀剂，10%‑40%的水。该水基型光刻胶剥离液组合物能有效提高剥离液的剥离速度和持久性，操作窗口大，同时能大大降低对基底和Cu金属的腐蚀作用；同时该表面活性剂具有很强的润湿、渗透性能，能有效提高剥离液的剥离性能，同时该表面活性剂存在一定的抗腐蚀性，与缓蚀剂形成能较好的协同作用，防止基底和Cu金属布线腐蚀的产生。

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