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多结太阳能电池及其形成方法与设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880000178.9
  • IPC分类号:H01L31/00
  • 申请日期:
    2008-07-23
  • 申请人:
    应用材料股份有限公司
著录项信息
专利名称多结太阳能电池及其形成方法与设备
申请号CN200880000178.9申请日期2008-07-23
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-09-23公开/公告号CN101542745
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/00IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人应用材料股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人盛殊然;蔡容基;崔寿永;元泰景;李立伟
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人陆嘉
摘要
本发明的实施例一般涉及太阳能电池及其形成方法和设备。更具体地,本发明实施例涉及薄膜多结太阳能电池及其形成方法和设备。本发明实施例还包括改良的薄膜硅太阳能电池及其形成方法和设备,其中太阳能电池中一个或更多个层包括至少一个非晶硅层,该至少一个非晶硅层具有改良的电性与机械性能,并能够以比传统非晶硅沉积处理快上许多倍的速率沉积。

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