具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜

发明专利无效专利

申请号：
CN200410096338.8
IPC分类号：--
申请日期：
2004-11-30
申请人：
哈尔滨工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜
申请号	CN200410096338.8	申请日期	2004-11-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-05-11	公开/公告号	CN1614457
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	赵维廉;谭久彬
代理机构	北京英特普罗知识产权代理有限公司	代理人	齐永红

摘要

本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜。该显微镜采用共焦干涉显微成像技术来改善共焦显微镜的轴向分辨力，采用超分辨光瞳滤波技术来改善共焦显微镜的横向分辨力，继而达到改善共焦显微镜的空间分辨成像能力。该显微镜包括光源部分(1)，依次放在光源发射端的扩束准直镜(2)、光瞳滤波器(3)、分光镜(4)、放置在分光镜(4)反射光束传播路径上的物镜(5)，包括用于反射分光镜(4)透射光束的参考反射镜(6)，还包括汇聚测量光束和参考光束的聚光镜(7)和放置在聚光镜(7)焦点上的探测器(8)。该共焦干涉显微镜可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微沟槽和集成电路线宽等。

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