复合式分子泵

发明专利无效专利

申请号：
CN88104185.8
IPC分类号：--
申请日期：
1988-07-12
申请人：
中国科学院北京真空物理实验室

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法律信息

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著录项信息

专利名称	复合式分子泵
申请号	CN88104185.8	申请日期	1988-07-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1990-01-31	公开/公告号	CN1039287
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院北京真空物理实验室	申请人地址	北京市海淀区中关村2724信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院北京真空物理实验室	当前权利人	中国科学院北京真空物理实验室
发明人	朱岳;王孝珍;庞世瑾
代理机构	中国科学院专利事务所	代理人	关玲

摘要

一种复合式分子泵，由涡轮分子泵级与复合排气系统串联而成。其复合排气系统由外侧圆周上是涡轮短叶齿，内侧圆盘面上为抽气沟槽的复合式动叶轮与静叶轮相匹配，并同圆柱螺旋齿动隔离环复合而成。本发明结构简便，运行安全可靠，工作范围及真空性能大大超过了涡轮分子泵，可满足化工、半导体、微电子、核电子、能源、宇航等领域的等离子研究课题物理气相沉积、化学气相沉积的需要。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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