利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品

发明专利有效专利

申请号：
CN201310737801.1
IPC分类号：C04B35/453;C04B35/622
申请日期：
2013-12-28
申请人：
福建省诺希新材料科技有限公司

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专利名称	利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品
申请号	CN201310737801.1	申请日期	2013-12-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-19	公开/公告号	CN103641468A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/453 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/01 以氧化物为基料的〔6〕 C04B35/453 以氧化锌、氧化锡或氧化铋或与其他氧化物（例如锌酸盐、锡酸盐或铋酸盐）的固溶体为基料的〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;4;5;3;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2查看分类表>
申请人	福建省诺希新材料科技有限公司	申请人地址	福建省福州市福清市融侨开发区光电科技园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福建省诺希新材料科技有限公司	当前权利人	福建省诺希新材料科技有限公司
发明人	林杰;张群;邢俊鹏;侯则良
代理机构	福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所（普通合伙）	代理人	刘毅峰

摘要

本发明提供一种利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品，包括以下步骤：（1）将氧化锌铝残靶粉末、氧化铝粉末和氧化锌粉末按照质量百分比分别为10~50%、1.5~2.7%、48.5~87.3%混合均匀，制成氧化锌铝注浆混合料；（2）以氧化锌铝注浆混合料质量为100%计，向氧化锌注浆混合料中分别添加20~35%水、0.8~2%阿拉伯树胶和0.4~0.6%聚丙烯酸铵；（3）按照现有的靶材生产工艺，制得氧化锌铝靶材。本发明首次将氧化锌铝残靶粉末掺入氧化铝和氧化锌粉末中用来制备氧化锌铝靶材，并通过对氧化锌铝靶材粉末的质量百分比进行优化，制得了符合磁控溅射镀膜要求的氧化锌铝靶材。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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