一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺

发明专利有效专利

申请号：
CN201910751913.X
IPC分类号：B08B5/02;H01L21/673;H01L31/18
申请日期：
2019-08-15
申请人：
平煤隆基新能源科技有限公司

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专利名称	一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺
申请号	CN201910751913.X	申请日期	2019-08-15
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-11-15	公开/公告号	CN110449409A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B5/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B5/00 利用空气流动或气体流动的清洁方法（B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2，7〕 B08B5/02 用喷气力来清洁，如吹清凹处	IPC分类号	B;0;8;B;5;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	平煤隆基新能源科技有限公司	申请人地址	河南省许昌市襄城县产业集聚区(襄业路中段）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	平煤隆基新能源科技有限公司	当前权利人	平煤隆基新能源科技有限公司
发明人	朱海荣;彭平;夏中高;李旭杰;杨雄磊
代理机构	郑州科维专利代理有限公司	代理人	王理君

摘要

本发明涉及硅太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺，包括以下步骤：将存放时间超过4小时的石墨舟搬运至管式PECVD机台，对石墨舟进行洗舟工艺加载，洗舟工艺步骤为：开始、进舟、抽真空、吹扫、抽真空、检漏、抽真空、恒温、恒压、淀积一、抽真空、吹扫、淀积二、抽真空、吹扫、抽真空、充氮、取舟、结束，将运行过洗舟工艺后的石墨舟从炉管中取出后，按正常工艺流程装载硅片，运行镀膜工艺，本发明利用电离氨气对长时间存放的石墨舟在管式PECVD机台上运行洗舟工艺进行处理，处理后的石墨舟装载硅片后镀膜不会出现硅片污染导致的EL石墨舟印。

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