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用于玻璃基板的清洗设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510544237.0
  • IPC分类号:B08B3/10;B08B3/14;B08B11/04
  • 申请日期:
    2015-08-28
  • 申请人:
    武汉华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称用于玻璃基板的清洗设备
申请号CN201510544237.0申请日期2015-08-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-09公开/公告号CN105127140A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/10IPC分类号B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;3;/;1;4;;;B;0;8;B;1;1;/;0;4查看分类表>
申请人武汉华星光电技术有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉华星光电技术有限公司当前权利人武汉华星光电技术有限公司
发明人刘明文
代理机构北京聿宏知识产权代理有限公司代理人张少辉;刘华联
摘要
本发明提出了一种用于玻璃基板的清洗设备,包括能够加热清洗液的加热装置,加热装置具有第一入口和第一出口;用于清洗玻璃基板的清洗装置,清洗装置具有第二入口和第二出口,其中第二入口能与第一出口连通,其中,在连通第二入口与第一出口的管线上设置过滤装置。该清洗设备能提高对玻璃基板的清洗效果。

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