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一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220224939.2
  • IPC分类号:B05B15/04;B05B13/02
  • 申请日期:
    2012-05-18
  • 申请人:
    深圳市航盛电路科技股份有限公司
著录项信息
专利名称一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置
申请号CN201220224939.2申请日期2012-05-18
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05B15/04IPC分类号B;0;5;B;1;5;/;0;4;;;B;0;5;B;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人深圳市航盛电路科技股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区福永街道福园一路航盛工业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市航盛电路科技股份有限公司当前权利人深圳市航盛电路科技股份有限公司
发明人刘棠方
代理机构深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
本实用新型涉及一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置,包括传送生产板件的传送单元、喷淋碱性液体的喷淋单元,在所述喷淋单元的出口设置向所述生产板件吹气流的风刀,所述风刀的气流方向与所述生产板件移动的方向的角度大于90度。本实用新型一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置,成本低、消除生产板件上碱性液体的效果明显。

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