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镀膜用旋转溅射阴极装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810235989.9
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2008-11-19
  • 申请人:
    苏州新爱可镀膜设备有限公司
著录项信息
专利名称镀膜用旋转溅射阴极装置
申请号CN200810235989.9申请日期2008-11-19
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2010-06-16公开/公告号CN101736297A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人苏州新爱可镀膜设备有限公司申请人地址
江苏省张家港市蒋锦公路99号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州新爱可镀膜设备有限公司当前权利人苏州新爱可镀膜设备有限公司
发明人黄峰
代理机构张家港市高松专利事务所(普通合伙)代理人黄春松
摘要
本发明公开了一种镀膜材料溅射均匀和靶材利用率高的镀膜用旋转溅射阴极装置,包括:通过一对支承座活动支承在机架中的阴极圆管及安装在阴极圆管上的圆管状靶材;在阴极圆管内部还绝缘支承有中心支承管和磁芯元件;中心支承管与绝缘套、支承座及阴极圆管之间构成一个密闭的空腔,绝缘套内壁上设置有密封凸块与中心支承管密封接触,位于密封凸块外侧的中心支承管的端部设置有通孔,中心支承管的内腔通过该通孔及绝缘套上的通孔与安装在机架上的进水管相通,密封凸块另一侧的空腔通过绝缘套上的出水通孔与安装在机架上的出水管相通,在中心支承管内腔通过的另一端的出水孔与空腔相通。本发明可应用于真空镀膜玻璃的生产设备中。

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